반도체
반도체 표면 분석 Surface Analysis (SA)의 종류 및 개념 - (1)
반도체 표면 분석 Surface Analysis (SA)의 종류반도체 표면 분석 (SA)의 대표적인 종류는 SIMS, SRP, SCM, XPS/ ESCA 등이 있습니다. 반도체 표면 분석 Surface Analysis (SA)의 개념1) SIMS : SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry) 기술은 에너지가 풍부한 1차 이온 빔을 사용하여 샘플 표면을 스퍼터링 하여 질량 분석기에 의해 감지되는 이온화된 2차 입자를 생성합니다. 이러한 분광계는 입자 경로를 구부리기 위한 전기장 및 크기장을 제공하며 다른 질량을 가진 입자는 뚜렷한 굽힘을 가지므로 구별될 수 있습니다. 게다가, 2차 이온 강도 및 이온 스퍼터링 시간은 불순물의 깊은 프로파일을 계산하기 위해 사용될 수 있습니다..