반도체
생산 공정 중 발생 가능 한 반도체 불량의 종류와 해결책
반도체 제조 공정은 매우 복잡하며, 그 과정에서 여러 종류의 불량이 발생할 수 있습니다. 이러한 불량은 크게 프로세스 불량과 재료 불량으로 나눌 수 있으며, 여기에는 다음과 같은 것들이 포함됩니다. 반도체 불량의 종류 1. 패턴 결함(Pattern defects): 포토리소그래피 공정에서 발생하는 불량으로, 마스크의 잘못된 패턴이 웨이퍼 상에 전사되어 회로의 불규칙성이나 단락등을 일으킬 가능성이 있습니다. 2. 입자 불량(Particle defects): 공정 중 외부 물질이나 먼지가 웨이퍼에 부착되어 발생하는 불량입니다. 이러한 입자는 회로의 단락이나 열린 회로를 일으킬 수 있습니다. 3. 산화 불량(Oxide defects): 산화 프로세스에서 발생할 수 있으며 산화막의 불균일성이나 결함 등이 ..