반도체
반도체 Wafer back-grinding (B/G) 공정과 이해
반도체 Wafer back-grinding (B/G) 공정이란?웨이퍼 라미네이션, Wafer back-grinding, 웨이퍼 마운트로 진행되는 일련의 과정을 큰 의미의 Wafer back-grinding (B/G)라고 합니다. 반도체 (B/G) 공정별 이해라미네이션 공정 메커니즘 - 목적 : 웨이퍼 백 그라인딩 중 발생가능한 실리콘 분진 및 입자에 의한 웨이퍼 패턴 손상 방지를 위해 웨이퍼 앞면에 라미네이션 테이프를 부착합니다. - 방법 : 웨이퍼 윗면(패턴명)에 라미네이션 테이프를 부착하며 웨이퍼 크기 6, 8, 12인치 및 웨이퍼 종류에 따라 테이프를 선택합니다. 롤러로 테이프에 적절한 압력과 속도를 가하여 웨이퍼와 라미네이션을 부착, 테이프의 기공과 들뜸을 방지합니다. 웨이퍼 가장자리 ..