반도체
반도체 재료 분석 방법 FIB의 개념 및 적용 사례
오늘 본문에서는 반도체 재료 분석 방법 중 하나인 FIB가 무엇인지와 적용된 사례들을 케이스 스터디를 통해 알아보겠습니다. FIB (Focused Ion Beam microscope)란?반도체 재료분석 방법 중 하나인 FIB는 갈륨(Ga)을 금속 이온 소스로 사용하여 금속 및 산화물에 대한 이온 스퍼터링, 증착 및 에칭을 통한 리소그래피에 사용할 수 있는 MEMS에 매우 유용한 도구 중 하나입니다. FIB는 갈륨(Ga)을 금속 이온 소스로 사용하며 6.98 ×10-38 토르의 극저 증기압은 다양한 진공 환경, 심지어 UHV에도 적합합니다. 이 시스템은 강한 전기장을 추가하여 금속 소스를 녹여 모양을 변형하고 마지막으로 소스는 정점이 Ga 이온 빔을 방출할 수 있을 만큼 날카로운 테일러 콘 모양을 유..
