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반도체 재료 분석 방법 Material Analysis(MA)의 종류 및 개념
반도체 재료 분석 방법 Material Analysis(MA)의 종류 재료 분석 방법 (MA)의 대표적인 예로는 SEM, TEM, EBSD, EELS 등이 있습니다. 반도체 재료 분석 방법 (MA)의 종류별 개념 및 이해 SEM 주사 전자 현미경(SEM)은 고체 시료의 표면 형상과 미세 구조를 검사하는 데 강력하게 사용되며 IC 샘플의 선택된 층을 검사하고 CP(이온 밀링)를 통해 그 단면을 검사하는 데 사용할 수 있습니다. SEM의 배율은 최대 수백 수천 배에 이르며 X-선의 에너지 분산 분광기(EDS)의 선택된 추가 구성 요소는 샘플 원소를 반정량적으로 식별하여 재료 구성 및 불순물에 대한 훌륭한 정보를 제공합니다. SEM은 다양한 시료 표면의 미세 구조에 대한 평면 및 단면 검사, 정밀한 ..
