알고싶은 이야기

반도체

이번 포스팅에서는 첫 번째로 살펴보았던 반도체 표면 분석(Surface Analysis) 외에 어떠한 종류가 있으며 각 종류별 개념이 어떻게 되는지에 대해 알아보도록 하겠습니다.  Surface Analysis (SA)의 종류표면 분석(Surface Analysis)의 또 다른 종류로는 XRF, FE-AES AFM, FTIR, HRXRD 등이 있습니다.   Surface Analysis (SA) 별 기술 개념  XRF X-선 형광 분광계(XRF)는 고에너지 X-선 또는 감마선을 사용하여 시료를 조사하여 내부 전자와 외부 전자의 에너지 차이를 만듭니다. 에너지 차이에 의해 생성된 X선은 검출기를 통해 수신되며, 이는 원소 분석 및 화학 분석에 사용될 수 있습니다. 시료의 구성 원자의 내부 궤도 전자가 에너..

반도체

오늘은 지난 포스팅에 이어 반도체 전기 고장 분석의 또 다른 종류들과 각 분석별 내용에 대해 알아보도록 하겠습니다. 반도체 전기 고장 분석 (EFA)의 기타 종류전기 고장분석의 대표적인 다른 종류들로는 C-AFM, 원자력 현미경(AFM) 기반 나노 프로버 , SEM기반 나노 프로빙, EBIC, EBAC, EBIRCH 가 있습니다.   반도체 전기 고장 분석 (EFA)의 이해각 분석별 내용은 아래와 같습니다.   1) C-AFM : 전도성 원자력 현미경(C-AFM)은 AFM의 기능 중 하나로 뾰족한 끝(프로브)을 가진 마이크로 스케일의 캔틸레버로 구성되어 있으며 나노미터 분해력으로 표면 형태를 얻는 데 사용됩니다. AFM은 게르트 비닝(Gerd Binning)과 하인리히 로러(Heinrich Rohrer)..